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IC制造装备及超精密测控研究室

【研究室概述】

IC装备研究室成立于2001年,主要面向以IC制造装备为代表的高端制造装备,开展超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备机电系统等精密/超精密机械与测控前瞻性、基础性、创新技术、装备开发研究及人才培养。

研究室学术带头人朱煜教授入选国家"万人计划"首批科技创新领军人才,团队包括1名教授、3名副教授(副研究员)、5名讲师(助理研究员)教师核心团队,以及3名博士后、33名硕博研究生和30余名工程师等。2012年,IC装备团队入选科技部"重点领域创新团队"。

在基础实验条件方面,拥有500平方米千级净化试验间,配备有计量级三坐标测量机、000级精密测量平板、精密测高仪、光电准直仪、模态分析仪、低频振动测量仪、高性能主动隔振平台等多种大型超精密测试设备。

近年来研究室针对IC制造装备国家重大战略需求,瞄准光刻机超精密工件台纳米级运动精度的国际尖端技术目标,从超精密机电设计与优化、亚纳米精度测量与补偿,到纳米精度控制与系统实现,开展系统性、创新性的基础理论研究,并研发国际尖端的超精密工件台产品。承担了多项国家科技重大专项、"973"、"863"、国家自然科学基金、北京科委重大计划等项目或课题,累计科研经费近3.5亿,近5年年均科研经费3000万,发表学术论文200余篇,其中被SCI、EI收录120多篇,出版中英文专著2部,申请110余项国内外发明专利。

【代表性科研成果】