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研究方向一:IC装备超精密机械与测控
带头人:朱煜教授
Research Direction I: IC Equipment Ultra-Precision Machine, Measurement & Control
Leader: Prof. ZHU Yu

研究方向二:机器人与自动化技术及装备
带头人:陈恳教授
Research Direction II: Robot and Automation Technology & Equipment
Leader: Prof. CHEN Ken

研究方向三:数字化制造与智能控制
带头人:周凯教授
Research Direction III: Digitized Manufacturing and Intelligent Control
Leader: Prof. ZHOU Kai